检测项目
真空性能测试：
- 极限压强测量：工作真空度（≤1×10^{-5} Pa）、抽气速率（≥100 L/s，参照ISO 21360-1:2019）
- 流量特性：进气流量（0-100 L/min）、出气流量偏差（±2%）
- 泄漏率测试：静态泄漏（≤1×10^{-9} mbar·l/s）、动态泄漏偏差（±5%）
- 密封圈完整性：弹性恢复率（≥90%）、表面缺陷（无裂纹）
- 拉伸试验：屈服强度（≥355 MPa）、断后伸长率（A%≥15%）
- 疲劳测试：疲劳寿命（>10^6 cycles）、裂纹扩展速率（参照ASTM E647）
- 绝缘性能：绝缘电阻（≥100 MΩ）、耐压强度（3000V AC）
- 电磁兼容：辐射干扰（≤30 dBμV/m）、传导发射（40-150 kHz）
- 工作温度范围：低温极限（-40°C）、高温极限（+80°C）
- 热循环测试：温升速率（5°C/min）、热稳定性（ΔT<5°C）
- 振动分析：振幅（≤5 mm/s RMS）、频率响应（1-500 Hz）
- 噪声测量：声压级（≤65 dB(A)）、频谱分布
- 颗粒物计数：粒径分布（0.3-10μm）、浓度限值（≤1000 particles/m³）
- 表面残留：油污检测（无残留）、化学纯度（参照ISO 14644）
- 响应特性：设定点响应时间（<1 s）、控制精度（±0.5%）
- 信号处理：模拟输入偏差（±0.1V）、数字输出稳定性
- 连续运行测试：运行时间（>1000 hours）、故障间隔
- 开关寿命：阀门开关次数（>10,000 cycles）、轴承磨损量
- 气体流量校准：标准流量（50-500 L/min）、误差范围（±1.5%）
- 压降测试：过滤器压降（≤50 Pa）、管道阻力
检测范围
1. 真空泵： 涵盖旋片泵、涡旋泵等，重点检测转子动平衡、轴承温升及抽速衰减
2. 过滤器组件： HEPA与JianCePA过滤器，侧重过滤效率（≥99.99%）、压降变化及结构完整性
3. 阀门系统： 包括电磁阀与球阀，检测泄漏率、开关响应时间及密封面磨损
4. 管道与接头： 不锈钢与合金管道，重点管道泄漏检测、壁厚均匀性及焊接强度
5. 密封元件： O型圈与垫片材料，检测弹性恢复率、耐老化性及化学兼容性
6. 真空传感器： 压电与热导传感器，侧重精度校准（±1%）、线性度及温度补偿
7. 控制单元： PLC与触摸屏系统，检测电路绝缘、电磁兼容性及软件逻辑
8. 净化腔体： 不锈钢腔体结构，重点表面粗糙度（Ra≤0.8μm）、真空密封性及焊接缺陷
9. 冷却系统： 水冷与风冷装置，检测散热效率、冷却液流量及热交换系数
10. 辅助设备： 真空计与连接件，侧重校准精度、连接强度及耐腐蚀性
检测方法
国际标准：
- ISO 21360-1:2019 真空泵性能测试方法
- ASTM E595-07 除气率与质量损失测试标准
- ISO 14644-1:2015 洁净室粒子浓度分级
- GB/T 19955.1-2005 真空技术术语与性能测量
- GB/T 228.1-2021 金属材料拉伸试验方法
- GB 4706.1-2005 家用电器安全通用要求
检测设备
1. 真空计： VAC-1000型（量程0.1Pa-100kPa，精度±1%）
2. 泄漏检测仪： LEAK-200型（灵敏度1×10^{-9} mbar·l/s）
3. 流量计： FLOW-300型（测量范围0.1-1000 L/min，误差±0.5%）
4. 万能材料试验机： MT-500型（载荷0.1-100 kN，分辨率0.01 N）
5. 绝缘电阻测试仪： IR-600型（测试电压5000V，范围0.01-1000 GΩ）
6. 环境试验箱： TEMP-700型（温度范围-70°C至+180°C，湿度控制）
7. 振动测试系统： VIB-800型（频率1-2000 Hz，加速度10g）
8. 声级计： SOUND-900型（测量范围30-130 dB，精度±0.5 dB）
9. 颗粒计数器： PART-1000型（检测粒径0.3-25μm，流量2.83 L/min）
10. PLC测试平台： CONTROL-1100型（响应时间0.01s，模拟通道16路）
11. 耐久性试验机： DUR-1200型（连续运行监控，周期计数>10^6）
12. 光谱分析仪： SPEC-1300型（元素检测限0.001%，波长范围190-800nm）
13. 热成像仪： THERM-1400型（分辨率320×240，温度精度±1°C）
14. 压降测试台： DROP-1500型（压力范围0-100 kPa，流量控制）
15. 金相显微镜： METAL-1600型（放大倍数50-1000×，数码成像）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
